Kärnkomponenten i luftfuktighets- och syreanalysatorn är syresensorn av zirkoniumoxid. Denna sensor använder de elektrolytiska egenskaperna hos zirkoniumoxidkeramer för att generera en elektromotorisk kraft baserad på syrepartialtrycksskillnaden över sensorn, vilket möjliggör mätning av syrekoncentrationen. Samtidigt används specifika mättekniker (såsom impedansmetod, infrarödmetod etc.) för att exakt bestämma fukthalten i gasen. Sensorn inkluderar vanligtvis en uppvärmningsanordning för att förhindra kondensering av vattenånga i gaskammaren, vilket säkerställer stabila mätningar i miljöer med hög-temperatur och hög-fuktighet.

